FilmLEF – программа предназначена для решения обратной задачи лазерной эллипсометрии. FilmLEF оптимизирует методом Левенберга-Марквардта невязку между экспериментальными и теоретически рассчитанными углами эллипса поляризации (пси и дельта). FilmLEF принимает любое количество измеренных значений при разных углах падения луча на образец. FilmLEF моделирует многослойные тонкопленочные покрытия с неограниченным количеством слоев.